​1、表面粗糙度要求
定义与重要性：精密机械零件表面粗糙度是指加工表面具有的较小间距和微小峰谷不平度。对于精密机械零件，较低的表面粗糙度至关重要。例如，在高精度的轴承生产中，滚动体和内外圈的表面粗糙度要求很高。表面粗糙度值（Ra）可能要求在 0.1 - 0.8μm 之间，这是因为较低的粗糙度可以减少摩擦系数，使轴承在高速运转时减少磨损，提高旋转精度，降低振动和噪声。
不同应用场景的要求差异：在航空航天领域，如飞机发动机的叶片表面，由于其工作在高温、高速、高负荷的环境下，对表面粗糙度的要求更为严格。叶片表面粗糙度可能要求达到 Ra 0.05 - 0.2μm，以确保空气动力学性能良好，减少气流阻力，提高发动机的效率。而在一些普通机械的不重要部位，表面粗糙度要求相对较低，Ra 值可能在 1.6 - 3.2μm 左右。
测量方法与工具：常用的表面粗糙度测量方法有比较法、光切法、针触法和干涉法。比较法是将被测表面与标准粗糙度样板进行视觉或触觉比较，这种方法简单但精度较低。光切法利用光切原理，通过显微镜来测量表面粗糙度，适用于测量车削、磨削等加工表面。针触法是使用触针式轮廓仪，通过触针在被测表面移动来测量粗糙度，精度较高，是最常用的方法之一。干涉法基于光波干涉原理，用干涉显微镜进行测量，主要用于测量超精密加工表面。
2、表面波纹度要求
与粗糙度的区别和联系：精密机械零件表面波纹度是介于宏观形状误差和表面粗糙度之间的一种表面几何形状误差。它主要是由加工过程中的振动、机床的周期性误差等因素引起的。与粗糙度相比，波纹度的波长较长、波高较大。例如，在精密磨削的轴类零件表面，表面波纹度会影响零件的尺寸精度和形状精度，同时也会对零件的疲劳强度产生影响。
对零件性能的影响：在精密机械传动中，如高精度的丝杠传动，表面波纹度会导致传动精度下降。如果丝杠表面波纹度不符合要求，在传动过程中会产生周期性的误差，影响工作台的定位精度。对于承受交变载荷的精密零件，表面波纹度可能会成为疲劳裂纹的起始点，降低零件的疲劳寿命。一般来说，精密机械零件的表面波纹度要求控制在微米级，具体数值根据零件的使用要求和加工工艺而定。
检测手段与控制措施：检测表面波纹度通常使用波纹度测量仪，它可以通过光学或触针式原理来测量表面的波纹度参数。在加工过程中，为了控制表面波纹度，需要优化机床的动态性能，减少振动源。例如，采用高精度的静压轴承、增加机床的刚性、对刀具进行动态平衡等措施都可以有效减少表面波纹度。
3、表面完整性要求
微观组织变化要求：精密机械零件表面的微观组织在加工后应保持良好的状态。例如，在一些经过热处理和表面强化处理的零件中，如渗碳淬火后的齿轮，其表面的硬度、金相组织等需要符合设计要求。表面的硬化层深度、硬度梯度都有严格的规定，以确保零件在承受载荷时，表面能够提供足够的耐磨性和抗疲劳性，同时内部保持良好的韧性。
残余应力控制要求：加工过程中产生的残余应力会对精密机械零件的尺寸稳定性和疲劳寿命产生重大影响。在精密铣削或磨削加工后，零件表面可能会产生拉应力或压应力。对于一些高精度的航空零件，要求残余应力尽可能小或者是压应力状态。例如，通过适当的加工工艺，如采用低应力磨削、喷丸处理等，可以在零件表面形成有益的压应力，提高零件的抗疲劳性能，同时控制零件的尺寸变化，确保零件在长期使用过程中的精度。
表面层物理化学性质要求：精密机械零件的表面层物理化学性质也很重要。例如，对于一些在腐蚀性环境下工作的零件，表面应具有良好的耐腐蚀性。可以通过化学镀、电镀等表面处理方法，在零件表面形成一层耐腐蚀的保护膜。同时，零件表面的亲疏水性、导电性等物理化学性质也可能根据零件的具体应用场景而有不同的要求。