数控机床的加工中，由于外力、加工中产生的热量等外部因素的影响，机床的几何精度受到影响，在机床上加工的零件的几何变形会导致几何误差。引起cnc加工机床几何误差的内部因素是指由机床自身因素引起的几何误差，如机床工作台的水平度、机床导轨的水平度和直线度、机床工具和夹具的几何精度等。外部因素主要指高精度cnc加工过程中受外部环境和热变形影响而产生的几何误差。
高精度cnc加工位置误差对加工精度的影响。位置误差是指被cnc加工零件的实际表面、轴线或对称面相对于其理想位置的相互位置的变化或偏离程度，如垂直度、位置度、对称度等。cnc加工产生位置误差的主要原因是机床零件加工过程中传动产生的间隙和弹性变形引起的加工误差，以及cnc加工过程中工具头需要克服的摩擦力等因素引起的位置误差。

从高精度cnc加工的长期数据分析和实际操作中可以看出cnc加工机床定位引起的加工精度误差。机床的定位对数控机床的cnc加工精度有很大影响。从结构上看，数控机床的cnc加工误差主要是由定位精度引起的，机床进给系统是影响定位精度的主要环节。